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イオンスパッター Ion sputtering

EIKO IB-3

イオンスパッター Ion sputtering

概要

5Pa程度の低真空領域でグローディスチャージを起こさせて残留ガスをイオン化し、このガスイオンのエネルギーを利用して金属をスッパッターさせたり、試料のクリーニング、あるいはエッチングを行う装置。

装置の仕様・特色

電子顕微鏡用試料支持膜の親水処理、走査顕微鏡用試料への金属コーテイング等を行う。
詳細　　　　　　　　　　　　　　　　　
https://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/kiki2021/em/is.html

自己測定 依頼測定 学内 担当部局から連絡精算
設置年 1976
CFPOU管理番号 CRL_698
機器種別
装置カテゴリ
適合分野 生物学系 医学系
管理部局 医歯薬学総合研究科
サポート職員

医学部
共同実験室
第1分室　分室長
大内　淑代
(内線7080)
拠点

医学部共同実験室

共同利用について

利用にあたっての留意事項

共同実験室設置機器・設備の利用(要領)を参照。

学内
http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/main/riyou.html
学外
http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakugai/gakugairiyou.html

医学部共同実験室について詳細
http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/

http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/
自己測定料金

使用料金
　(学内のみ)400 円/ times
　　　　　　　Hydrophilic treatment 100円/Times

共同実験室料金規定により徴収

学内限定
http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakunai/ryoukin.pdf
学外
http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakugai/gakugairyoukin.pdf

学内限定 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakunai/ryoukin.pdf 学外 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakugai/gakugairyoukin.pdf
自己測定利用法

説明が必要な方は事前にオペレータにご連絡ください。
機器サービス管理者
機器サービス副管理者

【機器管理責任者】
　共同実験室第1分室分室長
　大内　淑代(内線 7080)
【監守者(オペレーター)】
　共同実験室
　浦田　晴生(内線 7470)
利用方法 https://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/main/riyou.html
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依頼測定について

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問い合わせ

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