イオンスパッター Ion sputtering：岡山大学

EIKO IB-3

5Pa程度の低真空領域でグローディスチャージを起こさせて残留ガスをイオン化し、このガスイオンのエネルギーを利用して金属をスッパッターさせたり、試料のクリーニング、あるいはエッチングを行う装置。

電子顕微鏡用試料支持膜の親水処理、走査顕微鏡用試料への金属コーテイング等を行う。
詳細　　　　　　　　　　　　　　　　　
https://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/kiki2021/em/is.html

自己測定依頼測定学内担当部局から連絡精算

利用にあたっての留意事項	共同実験室設置機器・設備の利用(要領)を参照。学内 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/main/riyou.html 学外 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakugai/gakugairiyou.html 医学部共同実験室について詳細 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/ http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/
費用負担	R3年度　使用料金　(学内のみ)400 円/ times 　　　　　　　Hydrophilic treatment 100円/Times 共同実験室料金規定により徴収学内限定 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakunai/ryoukin.pdf 学外 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakugai/gakugairyoukin.pdf 学内限定 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakunai/ryoukin.pdf 学外 http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/gakugai/gakugairyoukin.pdf
自己測定利用法	説明が必要な方は事前にオペレータにご連絡ください。
管理責任者・監守者	【機器管理責任者】　共同実験室第1分室分室長　大内　淑代(内線 7080) 【監守者(オペレーター)】　共同実験室　浦田　晴生(内線 7470)
詳細情報	http://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/
利用方法や利用規程	https://www.okayama-u.ac.jp/user/crl/main/riyou.html

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(鹿田)基礎医学棟 1F 共同実験室　蒸着室