日本電子 JXA-8800

概要

固体試料表面に電子線を照射、発生する特性X線を分光することで、微小領域の化学組成を測定する装置です。電子線で試料表面を走査して微細構造を観察することもできます。Keywords: EPMA、特性X線、波長分散

装置の仕様・特色

電子銃は熱電子放出型 (Wフィラメント)。波長分散型X線分光器5テャンネルを装備。各チャンネルの分光結晶には CH1: TAP/LDE2、CH2: TAP/LDE1、CH3: LIFH/PETH、CH4: PETJ/LIF、CH5: PETJ/LIFを選択できる。

謝辞掲載のお願い

本装置で得られたデータを外部に出版する際は、下記のとおり謝辞の記載をお願いいたします。

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