日本電子 JSM-7600F

概要

電界放出型電子銃・セミインレンズタイプである為、高輝度・高分解能観察が可能。 ジェントルビームモードにより、極低エネルギー(数百eV)での表面観察が可能。 リトラクティブ反射電子検出器を用いた、二次電子・反射電子・凹凸像・組成像の同時観察・撮影。 TEMグリッドを固定する専用ホルダを用いることで、TEM観察に用いたものと同一のサンプリングロットのサンプルを容易に観察可能。

装置の仕様・特色

二次電子分解能：1.0 nm @ 15 kV, 1.4 nm @ 1 kV 観察可能倍率：x25 ～ x 1 M 加速電圧：0.1 kV ～ 30 kV
検出器：二次電子検出器・リトラクティブ反射電子検出器・EDS

謝辞掲載のお願い

本装置で得られたデータを外部に出版する際は、下記のとおり謝辞の記載をお願いいたします。

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