IONTOF M6

概要

TOF-SIMSは元素・分子を高感度に同時取得できる表面分析装置です。

IONTOF社のM6は情報深さが1-2 nmと非常に浅く、固体試料の表面や薄膜、界面の詳細情報を得ることができるため、幅広い産業分野、研究用途に利用されています。

また、深さ方向の分析にスパッタガンを用いることにより、高精度なデプスプロファイルの取得が可能です。

謝辞掲載のお願い

本装置で得られたデータを外部に出版する際は、下記のとおり謝辞の記載をお願いいたします。

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