本体: キーエンス SEM VE-9800 (資産管理番号:140015003044) 分析装置: EDAX社 EDX検出装置 (資産管理番号:140015003092)

概要

可搬型SEMは光学顕微鏡では実現できない倍率(30000倍)での物質観察が実現できるが、これまでの装置に比べ操作が簡便で、試料の多くは前処理なしでも観測が可能である。既存のSEMに比べ、試料台のチルト、観察位置の変更が電子線焦点範囲内で出来、3D立体像の作成・観察が可能になっている。また保守部品の交換がカセット化され、簡単化されているため、専任オペレーターを必要とせず、これまでSEM利用を考えたこともない分野での活用が期待出来る。
また分析装置は,顕微鏡(SEM)と連携して使用する。電子線照射位置から発生する特性X線を用い試料表面の定性・定量元素分析が可能.

装置の仕様・特色

倍率100,000倍までの表面画像が観測可能で、維持管理が容易な反射型電子顕微鏡であり、三次元画像、計測など多様な機能をあわせもつ。
元素分析も、定性・定量分析が可能で、スポット、線、平面分析のオプションがある。