クリーンルーム用薄膜X線解析装置

パナリティカル社 Xpert-PRO MRDシステム (平成15年 原取)

クリーンルーム用薄膜X線解析装置

概要

あらゆる薄膜材料の統合的な解析が可能な高性能X線回折装置。非破壊で薄膜と基盤の同時解析が可能で、様々な薄膜材料の構造情報を得ることができる。
物理、化学、工学、材料、無機、固体、表面、回折、X線

装置の仕様・特色

H29年3月 設置調整。

自己測定 学内
設置年 2014
装置カテゴリ
適合分野 物理学系
管理部局 自然生命科学研究支援センター
使用責任者

自然科学研究科(工)
林 靖彦(内線 8230)

拠点

自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 分析計測分野

研究成果 岡山大学研究者プロファイル(Elsevier社Pure)

共同利用について

利用にあたっての留意事項

使用希望者は、監守者の指示に従ってください。

http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/equipments/view/543
費用負担

クリーンルーム全体で運営している。
使用時間と使用消耗品費に応じて、装置維持費用の負担をお願いする予定。自己測定(学内のみ): 165円/30分

http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/3HP用_学内自己測定利用料金_現行.pdf
自己測定利用法

監守者へ連絡し、測定方法をご相談ください。

管理責任者・監守者

クリーンルームワーキンググループ
【管理責任者】
 自然科学研究科(工)林 靖彦(内線 8230)
【監守者】
 自然科学研究科(工) 塩田 忠(内線 8034) 本装置担当
 自然科学研究科(理) 後藤秀徳(内線 7797)
 自然科学研究科(理) 武安伸幸(内線 7845)
 自然科学研究科(理) 久保園芳博(内線 7850)
 自然科学研究科(工) 林 靖彦(内線 8230)
 

詳細情報 http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/equipments/view/543
利用方法や利用規程 http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf
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