高真空抵抗加熱蒸着装置

旭商会 (平成17年 原取)

高真空抵抗加熱蒸着装置

概要

高真空中(10-4~10-5 Pa)において、金属材料などを抵抗加熱により蒸発させることで、薄膜を作製することができる。
物理、化学、工学、材料、無機、固体、圧力

自己測定 学内 CFPOU精算
設置年 2014
装置カテゴリ
適合分野 物理学系
管理部局 自然生命科学研究支援センター
使用責任者

自然科学研究科(工)
林 靖彦(内線 8230)

拠点

自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 分析計測分野

研究成果 岡山大学研究者プロファイル(Elsevier社Pure)

共同利用について

利用にあたっての留意事項

使用希望者は、監守者の指示に従ってください。

http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/equipments/view/544
費用負担

クリーンルーム全体で運営している。
使用時間と使用消耗品費に応じて、装置維持費用の負担をお願いします。
自己測定 
 (学内):1,320円/1時間
 (学外):1,650円/1時間

http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/HP用_装置別料金表_現行.pdf
自己測定利用法

監守者へ連絡し、測定方法をご相談ください。

管理責任者・監守者

クリーンルームワーキンググループ
【管理責任者】
 自然科学研究科(工) 林 靖彦 (内線 8230)
【監守者】
 自然科学研究科(工) 鶴田 健二(内線 8142)本装置担当
 自然科学研究科(理) 武安伸幸 (内線 7845)
 異分野基礎科学研究所 後藤秀徳 (内線 7797)
 自然科学研究科(理) 久保園芳博(内線 7850)

詳細情報 http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/equipments/view/544
利用方法や利用規程 http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf
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