株式会社日立ハイテク SU9000型

概要

微細構造リモート観察システム*の中核機器です。
*SU9000の他, 2-1 (光学顕微鏡 Olympus・FV3000)を含む種々の前処理機器群から構成される,物質の微細構造を観察・解析するための共用研究システム。

用途:固体試料の表面観察, EDX分析
分解能 0.4 nm と, 世界最高性能の分解能を有しています。
測定可能な試料の形態:固体(小塊,粉末,薄膜など)※ 厚みのある試料,および磁性材料は要相談。
サンプルの必要量:数十mg 程度(スパチュラ1杯分)
その他:各種前処理装置を用意。本体のリモート操作も可能
Keyword:微細構造, SEM, FE-SEM, 電界, EDX, EDS

装置の仕様・特色

特徴:オプションパーツを用いると,試料断面の観察,STEMモードの観察が可能。EDS, EDX分析およびリモート操作にも対応しています。

※ 印加電圧 30kV において 分解能 0.4 nm と, 世界最高性能の分解能を有しています。
※ 液体,気体試料の分析はできません。
※ 高真空下で測定するため,試料はよく乾燥が必要です。
※ リモート操作は要相談。