日本電子 JSM-F100

概要

本装置は、インレンズショットキー電界放出効果によって発生させた輝度の高い電子ビームを集束し、試料の走査を行い対象部から発生する二次電子を検出することで、試料表面の観察像(二次電子像)を得る装置である。観察像の倍率は10倍から100万倍、加速電圧は0.01kVから30kV、分解能(低真空)は加速電圧30kVの場合1.8nmである。加えて対象部から発生する特性X線をEDSにより検出することで、試料表面のミクロンオーダーの元素分析を行うことが出来る。測定できる元素はBからUまで、エネルギー分解能は135eVである。 最新のLIVE-AIフィルター等オート機能が充実したユーザーフレンドリーな装置で、無機・金属・半導体、バイオなどの幅広い分野で利用が期待される

謝辞掲載のお願い

本装置で得られたデータを外部に出版する際は、下記のとおり謝辞の記載をお願いいたします。

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