明昌機工, ノダRFテクノロジーズ M1Z21U000, NR3N-05
概要
装置の仕様・特色
チャンバー内寸法:W468mm×D384mm×H418㎜(約75?)
チャンバー材質:SUS304
駆動軸仕様(2軸共通):ステッピングモーター+ボールねじ
駆動軸ストローク:上下移動:50mm、水平移動:100mm
駆動軸最小設定単位(2軸共通):0.001mm
RF電源周波数:13.56MHz
RF出力電力:3000W
パルス変調入力:1～1kHz
パルスDuty:5～95%
パルス入力レベル:TTL
謝辞掲載のお願い
本装置で得られたデータを外部に出版する際は、下記のとおり謝辞の記載をお願いいたします。
This work has been partly supported by Core-Facility at Okayama University(CFPOU Osaka-50)
本研究はコアファシリティの支援を得て実施されました(CFPOU Osaka-50)
本研究はコアファシリティの支援を得て実施されました(CFPOU Osaka-50)
クリップボードにコピーしました！
自己測定
依頼測定 学内 学外
| 設置年 | ???? |
|---|---|
| CFPOU管理番号 | Osaka-50 |
| 機器種別 | |
| 装置カテゴリ | |
| 適合分野 | 工学系 |
| 管理部局 | |
| サポート職員 | |
| 拠点 | 大阪大学 |
共同利用について
| 利用にあたっての留意事項 |
大阪大学の共同利用装置です。 |
|---|---|
| 自己測定料金 |
詳細は公開サイトURLをご参照ください。 |
| 利用方法 | https://www.opf.osaka-u.ac.jp/instruments/476 |
依頼測定について
| 利用にあたっての留意事項 | 大阪大学の共同利用装置です。 |
|---|---|
| 依頼測定料金 | 詳細は公開サイトURLをご参照ください。 |