アドバンテスト社 TAS7500TS-000-J01（テラヘルツ光サンプリングシステム 2CH構成）

概要

フェムト秒レーザーを用いた光サンプリング方式により0.1～7THzの広帯域なテラヘルツ波を発生・検出し、固体（フィルム・板状・薄膜・圧着粉末等）、液体（ゲル状含む）、粉体など多様な試料の透過・反射・ATR測定が可能な分光装置です。透過率・反射率・吸光度・吸収係数・屈折率・誘電率・位相・位相差・誘電損失・時間波形など、テラヘルツ帯における物性評価に必要な各種パラメータを取得できます。XYステージによる自動マッピング測定（最大150mm×150mm、分解能0.2mm）にも対応しています。

　Key word: テラヘルツ分光、非破壊検査、誘電率、材料評

装置の仕様・特色

【CH1：XYステージ仕様】
・周波数帯域：0.1～4THz（TAS1110発生モジュール／TAS1230検出モジュール、予備品あり）
・測定モード：透過、反射・最大サンプルサイズ：150mm×150mm（個体：フィルム、板状、薄膜、圧着粉末など）
・ピークダイナミックレンジ：60dB・周波数分解能：3.8／7.6／61.0GHz切替・テラヘルツスポット径：4.5mm、反射入射角：法線に対し10°（固定）
・XYマッピング可動範囲：150mm×150mm、XY分解能0.2mm（最小）、XY自動制御、Z方向手動－3.5～+6.5mm可変、エアパージ対応

【CH2仕様】
・周波数帯域：0.5～7THz（透過・反射、TAS1130発生モジュール）／0.5～6.5THz（ATR）
・測定モード：透過、反射、ATR・対応サンプル：固体（フィルム、板状、薄膜）、液体（ゲル状含む）、粉体　直径5～30mm・ピークダイナミックレンジ：57dB（透過・反射）、55dB（ATR）・テラヘルツスポット径：4.5mm、反射入射角：法線に対し10°【構成】測定ユニット／解析ユニット／コントローラPC／ドライエアユニット、分光
・イメージング測定用外部光学ステージ(HT-710122X04)、分光測定用ステージ(HT-710193)、7THz用透過モジュール(HT-210037)・反射アタッチメント(HT-210038)、SU用ATRモジュール(HT-210039)
・圧力ゲージ(HT-710033)、7THz対応光学系オプション(HT-210101)、エアーコンプレッサー用接続パーツ(HT-710048)一式。専用解析ソフト（PYSI75-00MCWT）、分光解析アプリ（PYSI75-07MNIS）、自動制御測定オプション（PYSI75-08MNIS）、イメージング自動測定ソフト（STAS14015SE-0116）を搭載。（発生・検出モジュールは各予備品1式を保有）

謝辞掲載のお願い

本装置で得られたデータを外部に出版する際は、下記のとおり謝辞の記載をお願いいたします。

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設備ニュース

2026/08/03

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