日本電子㈱製

概要

試料を、マイクロスケールからナノスケールに加工・切断しTEM試料等を作成する装置。

装置の仕様・特色

透過電子顕微鏡観察用試料を作成する。Gaイオン銃およびLaB6電子銃を備え、試料をSEM観察を行いながらイオンビーム加工を行うことができる。Gaイオンの最大加速電圧は30kVである。加工時に試料を保護するデポ銃を備えており、有機系およびタングステンの保護膜作成に対応する。