日本電子㈱製

概要

岩石・鉱物試料の電子線による観察と、主成分元素の定量を実施する装置。

装置の仕様・特色

フィールドエミッション型電子銃を装備し、高分解能で安定した観察が可能である。また低真空モードを利用することができ、試料コートを用いず試料のチャージアップを抑制した像を得ることができる。検出器としてEDS、EBSD（現有設備番号322）を備えており、主要元素濃度分析、結晶方位解析が可能である。