芝浦メカトロニクス（株）製CFS
概要
試料表面への金属や酸化物のスパッタリング成膜装置
装置の仕様・特色
スパッタリング成膜機。
数cm程度の比較的大きな試料に対して成膜を行う。
複数のターゲットを同時利用可能。
ガス置換可能（金属や酸化物、フッ化物などの利用可）
自己測定
依頼測定
学内 学外
担当部局から連絡精算
| 設置年 | 2010 |
|---|---|
| CFPOU管理番号 | IPM_330 |
| 機器種別 | |
| 装置カテゴリ | |
| 適合分野 | 物理学系 |
| 管理部局 | 惑星物質研究所 |
| サポート職員 | 惑星物質研究所 芳野極 |
| 拠点 | 10. 地球惑星科学研究拠点 |
共同利用について
| 利用にあたっての留意事項 |
使用に当たっては担当者の指導の下で使用すること。 http://www.misasa.okayama-u.ac.jp/jp/ |
|---|---|
| 自己測定料金 |
惑星物質研究所負担 |
| その他 |
問合せ先メールアドレス |
| 利用方法 | http://www.misasa.okayama-u.ac.jp/jp/ |
依頼測定について
| 利用にあたっての留意事項 | 問合せ先メールアドレス |
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