芝浦メカトロニクス（株）製CFS

概要

試料表面への金属や酸化物のスパッタリング成膜装置

装置の仕様・特色

スパッタリング成膜機。
数cm程度の比較的大きな試料に対して成膜を行う。
複数のターゲットを同時利用可能。
ガス置換可能（金属や酸化物、フッ化物などの利用可）

謝辞掲載のお願い

本装置で得られたデータを外部に出版する際は、下記のとおり謝辞の記載をお願いいたします。

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