日立、FB-2000 (平成7年 原取)
非公開
概要
きわめて細く集束したGaイオンビームを試料表面で走査することにより、試料表面をナノメートルの精度で加工したり、発生した二次電子などを検出してSIM像を観察したりすることのできる装置です。
薄膜材料表面の微細加工、特定箇所の断面及び平面TEMおよびSEM試料の作製など、ナノテクノロジー分野の研究に用いることができます。
物理、化学、工学、材料、無機、固体、表面、イオン
自己測定
| 設置年 | 2014 |
|---|---|
| CFPOU管理番号 | DIA_542 |
| 機器種別 | |
| 装置カテゴリ | |
| 適合分野 | 物理学系 |
| 管理部局 | 自然生命科学研究支援センター |
| サポート職員 | 自然科学研究科(工) |
| 拠点 | 自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 分析計測分野 |
共同利用について
| 利用にあたっての留意事項 |
使用希望者は、監守者の指示に従ってください。 http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/equipments/view/542 |
|---|---|
| 自己測定料金 |
クリーンルーム全体で運営している。 |
| 自己測定利用法 |
監守者へ連絡し、操作方法をご相談ください。 |
| 機器サービス管理者 機器サービス副管理者 |
クリーンルームワーキンググループ |
| 利用方法 | http://dia.kikibun.okayama-u.ac.jp/files/upload/files/dia/kitei_riyouyoukou.pdf |